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小型フォトリソ装置 ELSスピンデベロッパ

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小型フォトリソ装置

ELSスピンデベロッパ

Siウェーハ、サファイヤ、ガラス角基板、GaAs、水晶、パワーデバイス(SiC、GaN)を材料とした各種分野で広く使われているELS社製装置。シンプルな装置設計で、各種プロセスに対応。搬入・立ち上げやトラブル発生時には、SCREEN SPE サービス全国サービスネットワークで対応。

ひとつのレシピ操作で、一連の現像・水洗・乾燥プロセスに対応するセミオート機構。 コンパクトな装置でありながら、充実した機能で、さまざまな処理が可能。

現像ノズルは、モーター駆動の旋回機構を採用。用途に応じた多彩なアレンジも可能。

特長
  • スピンモーターには、高精度なACサーボモーターを採用。
  • パドル現像で高度なアジテーションにも対応。
  • 更なる高い面内均一性およびウエハー間均一性が必要となる“クリティカルな微細パターン” には、薬液温調(オプション)もご用意。
仕様
モデル ELS708SA ELS712SA
材料のサイズ 50~200 mm 200~300 mm
回転数 50~5,000 rpm 50~3,000 rpm
プログラム機能 20 recipe 40 step 20 recipe 40 step
基盤固定方法 真空吸着 真空吸着
センタリング機能 メカニカル メカニカル
電源 AC220V 1φ 30 A 50/60 Hz AC220V 1φ 30 A 50/60 Hz
寸法 950 mm(幅)× 800 mm(奥)× 1,050 mm(高) 1,150 mm(幅)× 900 mm(奥)× 1,250 mm(高)
装置の組み合わせで、評価エリアの機能と性能をアップ

ワンステップ高い装置仕様で、評価環境の最適化を進めませんか?

各種装置の更新・追加で、現在の評価エリアのプロセス性能をアップ。さらに、作業環境の改善にもお役立ていただけます。

※ 膜厚測定装置は、SCREENセミコンダクターソリューションズの取扱製品です。

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