ELSマスクアライナ

Siウェーハ、サファイヤ、ガラス角基板、GaAs、水晶、パワーデバイス（SiC、GaN）を材料とした各種分野で広く使われているELS社製装置。シンプルな装置設計で、各種プロセスに対応。搬入・立ち上げやトラブル発生時には、SCREEN SPE サービス全国サービスネットワークで対応。

特長

• MEMS、LED、化合物半導体、パワーデバイスなどのさまざまな基板に対応した露光モード（Vacuum contact、Hard contact、Soft contact、Proximity Gap）を準備。
• 露光時に、アライメントを微調整しながら処理を行うManualモードと、繰り返し自動で処理を行うAutoモードで、研究者からオペレーターまで、用途に応じての使い分けが可能。

仕様