SCREEN

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

小型フォトリソ装置 ELSスピンコータ

小型フォトリソ装置

ELSスピンコータ

Siウエハー、サファイヤ、ガラス角基板、GaAs、水晶、パワーデバイス(SiC、GaN)を材料とした各種分野で広く使われているELS社製装置。シンプルな装置設計で、各種プロセスに対応します。搬入・立ち上げやトラブル発生時には、SCREEN SPE サービス全国サービスネットワークで対応。安心してご使用いただけます。

簡単操作で、優れた面内均一性を確保。いつでも塗布レシピを呼び出し、ウエハー内を均一に塗布します。

ガラス基板など特殊プロセスに対しても専用チャック(オプション)をご用意。

特長
  • コンパクトながら本格的なACサーボモーターを採用。制御性・再現性がよく、均一な塗布を実現します。
  • Autoモードでは処理中のステップをわかりやすく表示し、実際の塗布状況を見ながらレシピの最適化が可能。
仕様
モデル ELS306MA ELS312MA
材料のサイズ 50~150 mm 150~300 mm
回転数 100~7,500 rpm 100~4,000 rpm
プログラム機能 15 recipe 20 step 15 recipe 20 step
基盤固定方法 真空吸着 真空吸着
センタリング機能 メカニカル メカニカル
電源 AC220V 1φ 12 A 50/60 Hz AC220V 1φ 12 A 50/60 Hz
装置寸法 400 mm(幅)× 420 mm(奥)× 330 mm(高) 600 mm(幅)× 700 mm(奥)× 410 mm(高)
装置の組み合わせで、評価エリアの機能と性能をアップ

ワンステップ高い装置仕様で、評価環境の最適化を進めませんか?

各種装置の更新・追加で、現在の評価エリアのプロセス性能をアップ。さらに、作業環境の改善にもお役立ていただけます。

※ 膜厚測定装置は、SCREENセミコンダクターソリューションズの取扱製品です。

お問い合わせ

メールでのお問い合わせ