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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

その他周辺装置 ミスト回収ユニット

その他周辺装置

ミスト回収ユニット

洗浄装置の排気ラインに接続するだけで、排気ダクトに流れるミストを削減。

排気ダクトからの危険な薬液の漏れを解消。捕獲された薬液は重力ドレンによりタンク内に回収。

特長
  • タンクに溜まった薬液はポンプで工場ドレンへ。
  • 無駄な外枠を取り除いた骨格構造を採用。
仕様
装置寸法 450 mm(幅) × 700 mm(奥) × 約1,290 mm(高)
装置素材 PVC
送液方法/回収タンク ポンプ送液/10 L

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