株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
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その他周辺装置
ミスト回収ユニット
洗浄装置の排気ラインに接続するだけで、排気ダクトに流れるミストを削減。
排気ダクトからの危険な薬液の漏れを解消。捕獲された薬液は重力ドレンによりタンク内に回収。
特長
タンクに溜まった薬液はポンプで工場ドレンへ。
無駄な外枠を取り除いた骨格構造を採用。
仕様
装置寸法
450 mm(幅) × 700 mm(奥) × 約1,290 mm(高)
装置素材
PVC
送液方法/回収タンク
ポンプ送液/10 L
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