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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

その他周辺装置 目視検査支援ユニット

その他周辺装置

目視検査支援ユニット

プロセス後の表面・裏面の目視検査を効率よく安全に。

カセット内のウエハーを1枚ずつリフトアップする補助装置。ウエハーの抜き取りが自動化され、作業ミスによるスクラッチやチッピングの心配が不要。

特長
  • ウエハーやカセットの仕様に応じて簡単にカスタマイズ可能。
  • スロットのリフトアップは「セミオート」と「マニュアル」の2モード。
  • カセットの前後を逆にセットでき、ウエハーの表面・裏面を装置正面から確認可能。
仕様
装置寸法 700mm(幅)× 700mm(奥)× 1,280mm(高)
電源 AC100V 単相 50/60 Hz

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