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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

その他周辺装置 目視検査支援ツール

その他周辺装置

目視検査支援ツール

プロセス後の表面・裏面の目視検査を効率よく安全に。

目視表面検査のために、カセット内のウエハーを1枚ずつリフトアップする補助装置。ウエハーの抜き取りが自動化され、オペレーターの作業ミスによるウエハーへのスクラッチやチッピングの心配不要。リフトアップしたウエハーは、フレキシブルアームの先のLEDライトでその表面をチェック。レジスト塗布時の膜ムラをはじめ、裏面ミストの回り込み、キズ、異物等を簡単に確認可能。

特長
  • AC100Vがあれば、どこにでも移動可能。活躍の場所を選ばず、新規設備導入や生産ラインの試験運用でのチェックなどに最適。
  • 駆動系には高精度なステッピングモーターを使用。ウエハーやカセット仕様に応じて簡単にカスタマイズ可能。
  • ウエハーをスロットの1段目から順番にリフトアップする「セミオートモード」と、タッチパネルでスロットを選択する「マニュアルモード」。
  • カセットの前後を逆にセットでき、表面・裏面を、装置正面から確認可能。
仕様
装置寸法 700mm(幅)× 700mm(奥)× 1,280mm(高)
電源 AC100V 1φ 50/60 Hz

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