目視検査支援ツール

プロセス後の表面・裏面の目視検査を効率よく安全に。

目視表面検査のために、カセット内のウエハーを1枚ずつリフトアップする補助装置。ウエハーの抜き取りが自動化され、オペレーターの作業ミスによるウエハーへのスクラッチやチッピングの心配不要。リフトアップしたウエハーは、フレキシブルアームの先のLEDライトでその表面をチェック。レジスト塗布時の膜ムラをはじめ、裏面ミストの回り込み、キズ、異物等を簡単に確認可能。

特長

• AC100Vがあれば、どこにでも移動可能。活躍の場所を選ばず、新規設備導入や生産ラインの試験運用でのチェックなどに最適。
• 駆動系には高精度なステッピングモーターを使用。ウエハーやカセット仕様に応じて簡単にカスタマイズ可能。
• ウエハーをスロットの1段目から順番にリフトアップする「セミオートモード」と、タッチパネルでスロットを選択する「マニュアルモード」。
• カセットの前後を逆にセットでき、表面・裏面を、装置正面から確認可能。

仕様