目視検査支援ユニット

プロセス後の表面・裏面の目視検査を効率よく安全に。

カセット内のウエハーを1枚ずつリフトアップする補助装置。ウエハーの抜き取りが自動化され、作業ミスによるスクラッチやチッピングの心配が不要。

特長

• ウエハーやカセットの仕様に応じて簡単にカスタマイズ可能。
• スロットのリフトアップは「セミオート」と「マニュアル」の2モード。
• カセットの前後を逆にセットでき、ウエハーの表面・裏面を装置正面から確認可能。

仕様