SCREEN

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

小型フォトリソ装置 SCREEN 膜厚測定装置

小型フォトリソ装置

SCREEN 膜厚測定装置

特長
  • 分光器にCCDイメージセンサを採用することで、可視光の全波長域に渡って同時に測定でき、膜厚を高速・高精度に測定できます。
  • レシピウイザード機能を使用することにより、複雑なレシピ作成作業を簡単に行え、レシピの管理、登録数も大幅に向上しています。
  • 測定データの3次元マッピング表示、膜厚値修正機能、ヒストグラム表示、統計計算などデータのきめ細かい2次加工が可能です。
  • オートステージ、オートフォーカスにより、自動測定が可能です。
  • 標準で25膜種の膜厚測定と分光反射率測定に対応。また、標準以外の各種測定プログラムを幅広く準備しています。
  • 最大4層膜までの積層膜同時測定が可能です。
  • 屈折率測定が可能です。
  • LAN対応することにより、工場内のネットワークに簡単に接続できます。(オプション)
光干渉式膜厚測定装置 VM-1020/1030

特長
  • 鏡筒、手動XYステージ、電動レボルバ、対物レンズ、フィルタ挿入部、光源からなる顕微鏡部と分光器で構成されており、分光器には、光ファイバー入力式CCD分光器を採用しました。
    これによりサンプル面の反射光を可視光域の全波長域にわたり同時に測定でき、 膜厚を高速、高精度に測定します。
  • レシピウイザード機能を使用することにより、複雑なレシピ作成作業を誰でも簡単に行え、レシピの管理、登録数も大幅に向上しています。
  • 標準25膜種の測定膜種に加え、測定膜および基板の光学定数(屈折率、吸収係数)のユーザ登録機能を利用することにより、標準以外の各種測定プログラムをユーザ自身が、自由に作成、登録できます。

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