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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

石英管の保管・洗浄装置 石英管保管庫

石英管の保管・洗浄装置

石英管保管庫

ロータリーテーブル方式による効率的な収納レイアウトで、入出庫の作業性をアップ。

石英管および関連石英パーツを、清浄な環境で安全に保管するためのユニット。置き場所を選ばない省スペース設計。

特長
  • 石英炉心管の接触面にテフロンを使用し、発塵防止。
  • 石英ボートは、側面引き出しのボート保管方式を採用。
  • HEPA(ULPA)フィルターの搭載が可能。
仕様
装置寸法 1,700mm(幅)×1,540mm(奥)×2,258mm(高)
装置材質 PVC
保管可能石英管 (1)φ257×1,097L(フランジ径 φ306)・・・4本
(2)φ191×1,095L(フランジ径 φ209)・・・4本
保管可能石英ボート φ160×1,072L・・・5本
クリーンユニット 0.3μm以上の粒子にて、99.99%以上(集塵効果)
AC100V 1φ

※写真のタイプ

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