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石英管の保管・洗浄装置 石英管洗浄装置

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石英管の保管・洗浄装置

石英管洗浄装置

専用バスケットにより、石英炉心管・石英治具の
薬液洗浄⇒水洗を自動的に処理。

SCREEN SPE サービスのフィールド経験に基づいた操作性と安全性能を装備。

特長
  • 薬液供給機能の搭載やHEPAフィルターの搭載が可能。
  • ご使用環境にフィットするカスタマイズに対応。
仕様
装置寸法 3,100mm(幅)× 1,100mm(奥)× 2,400mm(高)
装置材質 PVC
処理槽 薬液:500L × 1、水洗:550L × 1
制御方式他 PLC制御、漏液センサー内蔵

※写真のタイプ

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