石英管洗浄装置

専用バスケットにより、石英炉心管・石英治具の
薬液洗浄⇒水洗を自動的に処理。

SCREEN SPE サービスのフィールド経験に基づいた操作性と安全性能を装備。

特長

• 薬液供給機能の搭載やHEPAフィルターの搭載が可能。
• ご使用環境にフィットするカスタマイズに対応。

仕様

※写真のタイプ