スラリー薬液供給ユニット

乾燥防止機能、洗浄機能、独自タンク形状により各種スラリー液に適した仕様を用意。

研磨剤そのものへのダメージを抑え供給する新方式のポンプを搭載。デバイス不良の低減で、歩留まりと生産性の向上に貢献。
また、廃棄量も抑制し、環境にも配慮。

特長

• キャニスター、またはポリタンクから自動でストックタンクへ薬液原液を送出。
• 調合タンクにて撹拌し、上位機へ供給。薬液は各系統で循環。
• 薬液と純水との混合比率は可変。
• 使用環境に応じたカスタマイズに対応。

仕様

※写真のタイプ