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純水昇圧装置・薬液供給装置 スラリー薬液供給ユニット

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純水昇圧装置・薬液供給装置

スラリー薬液供給ユニット

乾燥防止機能、洗浄機能、独自タンク形状により 各種スラリー液に適した仕様を用意。

研磨剤そのものへのダメージを抑え供給する新方式のポンプを搭載。デバイス不良の低減で、歩留まりと生産性の向上に貢献。
また、廃棄量も抑制し、環境への配慮も万全。

特長
  • キャニスター、またはポリタンクから自動でストックタンクへ薬液原液を送液。
  • 調合タンクにて撹拌し、上位機へ供給、循環する装置。
  • 薬液と純水との混合比率は可変。
  • 使用環境に応じたカスタマイズに対応。
仕様
装置寸法 1,910 mm(幅) × 1,110 mm(奥) × 1,660 mm(高)
装置材質 PVC
装置重量 約300 kg(満水ポリタンク6本収納時 約420 kg)
搬送ポンプ スラリー供給用ポンプ搭載
制御仕様 各薬液はそれぞれの系統で循環
制御方式 PLC制御方式

※写真のタイプ

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