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純水昇圧装置・薬液供給装置 薬液供給ユニット

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純水昇圧装置・薬液供給装置

薬液供給ユニット

お客さまのニーズに合わせ幅広い仕様に対応。

エッチング・洗浄処理等で使用する薬液をプロセス装置へ供給するユニット。
ポリタンクやキャニスターを複数本収納し、自動切換運転により連続供給が可能。

特長
  • 多くの検知機能を備えた安全仕様。
  • 薬液タンク交換時の栓置き場を設けるなど、細部にわたりこだわりの設計。
  • 100Lキャニスターを2本収納できる大型タイプをはじめとする、さまざまなオプションをご用意。用途に応じた柔軟なカスタマイズに対応。
仕様
装置寸法 1,000mm(幅)× 1,000mm(奥)× 1,375mm(高)
装置材質 PVC
薬液収納量 20Lタンク × 3本
制御方式他 PLC制御、空検知センサー、漏液センサー内蔵

※写真のタイプ

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