薬液供給ユニット

お客さまのニーズに合わせ幅広い仕様に対応。

エッチング・洗浄処理等で使用する薬液をプロセス装置へ供給するユニット。
ポリタンクやキャニスターを複数本収納し、自動切換運転により連続供給が可能。

特長

• 多くの検知機能を備えた安全仕様。
• 薬液タンク交換時の栓置き場を設けるなど、細部にわたりこだわりの設計。
• 100Lキャニスターを2本収納できる大型タイプをはじめとする、さまざまなオプションをご用意。用途に応じた柔軟なカスタマイズに対応。

仕様

※写真のタイプ