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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

特 長Features

高性能な3つの“Minimal(最小化)”を実現!

“Minimal” コンタミネーション

接液部に発塵元となるベアリング・軸受・開閉バルブなどの部品を持たない非接触型構造となっています。そのため、ポンプ起因のコンタミネーションの心配がありません。
また、インペラとケース材料には、耐薬液性の高純度フッ素樹脂を使用しており汚染の心配もありません。構造的に、コンタミネーションリスクが最小限に抑えられています。

“Minimal” メンテナンス

ポンプ内部には摺動箇所がなくそのため、メンテナンスが必要となる摩耗部品が使われていません。また、インペラの駆動も磁力制御になるので、通常の機械制御で必要となる消耗部品が使われていません。
これらの構造の特徴から、メンテナンス頻度は最小限に抑えられています。

“Minimal” 脈動・振動

インペラをロータとして磁力制御により回転させ送液しているので、脈動・振動がありません。また、摺動部が無いためノイズ音も無く静穏な環境が確保できます。
高い回転への制御性能を有しているので高精度な送量を実現しています。

精密な送液を実現する磁気浮上遠心ポンプ

レビトロニクスポンプは、コンタミネーション発生の原因となる軸受や開閉バルブを持たない革新的なポンプです。
磁気浮上の原理に基づいて、インペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触で浮上し、電気的な磁気制御により回転駆動されます。(図1、2)
この構造・システムにより、精密な流体の圧力・流量制御を可能としています。
もちろん、接液部となるインペラとポンプケーシングは、高純度フッ素樹脂で作られているので高い耐薬性能を有しています。(図3)

図1:ベアリング遠心ポンプの基本構造
図2:ポンプヘッドとベアリングレスモータの構造
図3:ポンプヘッド分解図

無摺動・無接触構造

各接液部品は、相互に接触しない構造のため、擦れによる発塵はありません。非常にクリーンな送液が可能です。
ベアリング・開閉バルブ等の消耗品が無いため、通常必要となるメンテナンスは不要です。保守に掛かる部品および作業コストが削減できるほか、保守作業時の生産機会のロスも減らせます。
また、製品寿命についても、機械的な構造によう消耗部品を持たないため、他の構造をもつポンプ製品に対し、高いアドバンテージを有しています。

電気・磁気制御による遠心ポンプであることかつ、高い制御性能を持つシステムなので、高精度な定量吐出が可能です。
吐出圧についてもインペラの回転制御により幅広い制御が可能で、高速回転による高揚程吐出にも対応しています。

サーボアンプ内蔵の高性能コントローラ

流量フィードバックでのシステム構成

単独運転システムと拡張運転システムのモデルを用意しています。
単独運転システムでは、インペラ回転速度をマニュアルで設定できます。
一度設定した回転速度は、コントローラのEEPROMに保存されますので、再起動時に同じ回転数で動かすことができます。
拡張運転システムでは、流量センサーまたは圧力センサを使い目標値に対し一定となるようフィードバック制御が可能です。
外部システムからは、電流値(4~20mA)もしくは電圧値(0-10V)でつなぎ回転制御することができます。

拡張運転システムでフィードバック制御を行う場合、状態変化に対しトレンド警告を出すことができます。(下記)
設定は、付属のPC用のサービスソフトウエアを使用して行います。

実用例
拡張運転システム活用例(フィルタ管理など)
(流量一定制御時の上限アラーム)

送液システムでの異常監視のため任意にインペラ回転数の警告用上限値を設定することが出来ます。フィードバック制御運用では、目標流量を維持するためインペラ回転数が変化しますが、その変化量が一定値より大きくなったことを知るための警告です。回転上限値の設定も可能です。
インペラ回転数の変化はフィードバック自動機能によるものですが、一般的にはその変化は、配管経路内のフィルター目詰まりや元圧変動に依るものです。

コンパクト設計

同流量のエア駆動ポンプやマグネットポンプより、その構造の違いから小型です。
また、従来ポンプと比較し振動が低いため、他の機器と並べて設置する場合には相互の設置距離を短くできます。特に、装置内に設置する場合や、設置スペースに制限がある場合に有効です。

同流量の他機構ポンプとのサイズ比較

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