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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

純水昇圧ユニットシリーズ

純水昇圧ユニットシリーズ

工場設備増設時に起こりがちな純水圧不足を簡単解消!

工場の設備増設に伴う純水圧不足やその変動は、純水昇圧ユニットが解決!

純水の安定供給は、半導体デバイス生産での品質と歩留りに影響する重要な要素です。
コンパクトなユニットなので、限られた設置スペースにも、設置頂き易くなっています。

圧力確保と安定化プロセス性能アップ

設置イメージ

処理プロセスに合せ、昇圧ユニットとプロセス装置を “1対1” 構成から複数台構成として最適化できます。
帯電防止機能付き純水昇圧ユニットとの組み合わせも効果的です。



Tipsサブ・ファブ移設で、クリーンルームのスペースを削減!

加温ユニットや帯電防止ユニットは、昇圧機能付きとすることで、サブ・ファヴへ機能移設が可能! 高価なクリーンルームのスペースが削減できます。


設置イメージ


純水昇圧ユニット

製品

純水供給圧の不足や変動を解消。

機能豊富な高性能仕様で、厳しいプロセス要求にも対応。
ユニット機能に対し、コンパクトなデザインを実現。
ベアリングのない磁気浮上型遠心ポンプの採用で、低発塵性能と耐久性能を実現。
2次側圧力の常時監視を行い、フィードバック制御。


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<帯電防止機能付き>純水昇圧ユニット

製品

帯電防止と純水昇圧を「2 in 1」。
安定したプロセス性能を省スペースで実現します。

CMP、洗浄、スクラバー、ダイシング各工程のリンス・洗浄プロセスなど幅広い用途に適応。
コンパクトなボディーでフットプリントを大幅に改善。これまでの2ユニット運用で必要だった接続施工がなく、プロセス性能の安定化に加え、導入コスト削減にもお役立ていただけます。


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<昇圧機能付き>純水加温ユニット

製品

高性能な純水加温ユニットに昇圧機能をプラス。
さまざまな環境に柔軟に対応。

2 in 1設計による省フットプリントを実現。投資コスト低減にも寄与します。


  • コンパクト・高効率・クリーン設計
    場所を取らないコンパクト設計。加熱効率96%の高性能に加え、加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計です。
  • 短時間起動の省エネ運転
    独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計。また、電子制御による温調で細やかな温度特性を実現します。
  • 昇圧機能搭載
    昇圧機能を搭載しているので、1次側に圧力変動があっても、常に安定した純水供給が可能。
    ベアリングのない磁気浮上型遠心ポンプを採用しているので、クリーンな環境を維持できます。

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