新旧工場の純水圧力不足を解決！

純水昇圧ユニットシリーズ

工場の設備増設に伴う純水圧不足や その変動を、純水昇圧ユニットが解決！

処理プロセスに合わせ、昇圧ユニットとプロセス装置を “1対1” 構成から複数台構成として最適化。
また、サブ・ファブへの移設が可能なため、クリーンルームでの設置スペースを削減できます。

純水の安定供給は、半導体デバイスの生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。
帯電防止ユニットや純水加温ユニットは、昇圧機能の組み込みによって設置スペースを縮小できます。