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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

クリーンエアシステム クリーンブース

クリーンエアシステム

クリーンブース

クラス100~10,000のクリーンルーム環境の設営可能。連結使用で、広いクリーンルーム環境、レイアウト変更にも対応。入口のエアーシャワー設置で、入退室を前提とするクリーンルームにも。本格的なクリーンルームに比べ圧倒的にローコスト。

特長
  • ファンフィルターユニット(FFU)にHEPA(集塵効率99.97%以上)を搭載。
  • 強度のある鋼製で軽量の骨組。 キャスター付属で移動も可能。
  • ビニールカーテンは帯電防止仕様。 透明、イエロー、暗室タイプから選択。
  • イオナイザーの設置、出入り口のエアーシャワーの設置も可能。
  • クラス100~10,000に対応。
  • ご要望に応じて設計・加工。
クリーンブースオプション

パスボックス

クリーンルーム内での物品受け渡し時、塵埃発生の最大の原因となる人の出入りを回避。 用途に合わせてさまざまなタイプをご用意。

エアーシャワー

片吹、両吹、1人用、2人用、自動扉など、用途に応じてカスタマイズ可能。

クリーンパッケージ

HEPAフィルター、ファンをコンパクトにまとめた床置き型ファンユニット。設置するだけでクラス10,000~100,000のクリーン環境を確保。

ファンフィルターユニット(FFU)

要求クリーン度に合わせてレイアウト

 軽量・省エネタイプ

0.3μm粒子にて99.97%以上の集塵効率を持つHEPAを搭載したFFU。 クリーンブースには、軽量・省エネタイプが最適。

  • 従来のシロッコファンに比べ約半分の重量と消費電力。
  • 風量調整機能(弱←→強)。
  • AC100~240V、50/60Hz対応。
他に静圧が求められる環境に適した高静圧タイプ、卓上ベンチ等で大きな風量を必要としない環境に適した小型タイプも ご用意しています。

空調ユニット

クリーンブースの大きさに適した風量タイプをご用意。

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