SCREEN

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

Business Outline事業紹介
生産量×品質を
最大化するための4つのPhase装置パフォーマンス・ケア・サポート

4つのPhaseとは

装置パフォーマンス・ケア・サポートによる
「生産量×生産品質の最大化」を目指す4フェーズの分類
SPEサービスが目指す目標パフォーマンス

SCREEN SPE サービスによる、装置運用の最大能力を引き出す技術サポート。装置立ち上げから長期稼働を実現するまでのフェーズを4つに分類。フェーズ1の装置立ち上げ、フェーズ2の生産開始と安定稼働、フェーズ3で生産デバイス変更などによる装置仕様の見直しと改造、その後の長期稼働を持続させるフェーズ4。それぞれのフェーズに適したプログラムを用意し、装置生涯の「生産量x生産品質」が最大となることを目指しています。

Phase1装置立ち上げ

サポート方針

短期間で装置立ち上げ完了し、早期に生産Phaseへ移行します。
安全第一とし災害・事故を発生させない体制で進めます。

対応について

装置仕様・規模・プロセス要求に合わせ、最適な立ち上げチーム構成を行います。
立ち上げ期間の最短化のため、過去装置実績もしくは、特定製番で標準作りを行い横展開します。
また、立ち上げスケジュールの中での用力投入のタイミング調整や、立ち上げの現地作業を見越した装置製造工程での調整を行います。
事故ゼロを達成する行動規範として、専任安全管理者を設置します。

SCREEN製プロセス装置の新規立ち上げ

Phase2生産開始と安定稼働

サポート方針

早期に計画生産量に達し安定維持した生産・歩留まりとなるよう対応します。

対応について

①分析と対応
装置稼動状態の数値化を行い稼働率最大化への改善を図ります。

②予防保全サイクルの対応
日々の監視結果をもとに、装置運用面での最適化を図ります。

Daily
状態監視、アラーム分類・重要度判定・確定事項の対応
Weekly
対策判断・対応・検証
Monthly
効果確認・フィードバック

③パーツ供給体制確保
大規模な搬入立ち上げでは、必要数が多くなるため、部品調達の状況をモニタ。納期調整を進めます。

SCREEN SPE サービス保守サービス

Phase3生産デバイス変更に伴う装置仕様の見直し/改造

サポート方針

生産デバイス変更に対する装置最適化のため装置最適化パッケージをご提案します。
改造適応後の早期のフル稼働を目指したサポート支援を行います。

対応について

① 新規プロセスでの装置最適化のため、対応する装置構成への改造と変更後の性能アップに向けての改造パッケージをご用意しています。

新規プロセス対応
装置構成の変更
プロセス性能向上
流量データ管理、プロセス性能向上となる部品変更など
生産性向上
スループット短縮など
歩留まり改善
静電対策、ベベルブラシなど
削減改造
省レジ、薬液・純水使用量削減など
その他
EESによる装置稼働率向上、安全性向上、環境グリーン化など

② 改造適応後の早期の立ち上げと稼働率最大化のため、稼動状態の数値化による最適化を図ります。

③ 安定稼働後も引き続き、予防保全ショートサイクルを回し、継続した装置稼働の安定化を図ります。

Daily
状態監視、アラーム分類・重要度判定・確定事項の対応
Weekly
対策決定・対応・検証
Monthly
効果確認・フィードバック

プロセス装置の最適化
(性能アップ・機能アップの改造)

Phase4長期稼働

サポート方針

装置をより長く安定稼働して頂くため、長期安定稼働プログラムをご用意しています。

対応について

保守サービス
装置モデルや環境を確認し最適なメンテナンス・プログラムをご用意します。
搬送系、プロセスモジュール、その他の基本箇所の点検
温測
装置診断報告書作成
消耗部品、メンテナンス部品交換、修理のご提案など

装置リフレッシュ・サービス
経験豊富な技術者が事前に装置診断し、最適な装置修復メニューをご提案します。
確実な性能の再生と延命化が図れるので長期の安定稼働につながります。これ以降の定期メンテナンスが効果的になります。

  • 装置診断と診断報告書の作成
  • 装置のプリメンテナンス
  • 装置のオーバーホール
  • 生産中止部品箇所の現行化改造
  • ACUのフロン規制対策
  • 故障・劣化箇所の修理
  • 装置改造に関するご要望やご相談など

長期安定稼働のサポート

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