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純水昇圧装置・薬液供給装置 純水昇圧ユニット

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純水昇圧装置・薬液供給装置

純水昇圧ユニット

機能豊富な高性能仕様で、厳しいプロセス要求にも対応。
ユニット機能に対し、コンパクトなデザインを実現。

ベアリングのない磁気浮上型遠心ポンプの採用で、常識を超える低発塵性能と耐久性能を実現。
昇圧目標値に対し常時監視を行い、ポンプをフィードバック制御。元圧変動に対しても安定・安心。

特長
  • 高いプロセス性能を持つ磁気浮上遠心仕様のレビトロニクスポンプを採用。
  • フィードバック制御機能により、設定した昇圧ターゲットが維持されるようポンプ能力を加減制御。脈動のない安定した供給を実現。
  • 幅広い供給流量に対し、小さなフットプリントで実現。
  • 純水温度監視機能、純水元圧の監視機能(オプション)など対応可能。
  • 供給先装置のさまざまな通信仕様に対応可能。
仕様
装置寸法 490 mm(幅)× 595 mm(奥)× 1,320 mm(高)
装置材質 PVC
  BPS-600 搭載時 BPS-4 搭載時
供給流量 一次側 DIW 元圧+0.18 MPa 一次側 DIW 元圧+0.25 MPa
最大昇圧能力 (例)元圧 0.2 MPa の場合
⇒ 昇圧後 0.38 MPa
(例)元圧 0.2 MPa の場合
⇒ 昇圧後 0.45 MPa
最大供給流量 25 L/min 60 L/min
最大使用圧力 0.6 MPa
制御 / 操作方式 PLC制御方式 / タッチパネル
非常停止ボタン 設置
漏液検知 リークセンサー

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