株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
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» クリーンエアシステム クリーンベンチ
クリーンエアシステム
クリーンベンチ
作業台エリアを集中的に、クラス100の清浄度を確保。
特長
清浄空気が正面から後方へ流れる水平流形と、天井側から下方向に流れる垂直気流の2種類を準備。
仕様
幅寸法
1,300 mm
装置寸法
1,300 mm(幅) × 1,100 mm(奥) × 約1,860 mm(高)
清浄度
クラス100
吹出風速
0.5 m/s
処理風量
20 m
3
/min
集塵効率
0.3 μm粒子にて99.97%以上
HEPAフィルター
610 mm × 610 mm × t68 × 2(枚)
照明灯
40 W × 4
電源
AC100V 50/60 Hz
※写真のタイプ
製品情報
純水昇圧装置・薬液供給装置 純水昇圧ユニット
クリーンエアシステム クリーンベンチ
クリーンエアシステム 簡易クリーンブース
クリーンエアシステム クリーンブース
空調ユニット コータ・デベロッパ用空調ユニット SA-30
クリーンエアシステム イオナイザー・ユニット
省エネ・中型〜精密空調ユニット
その他周辺装置 ホットプレート/クールプレート
SEBAPROツール SEBAPRON(セバプロン)
SEBAPROツール SEBAPRO Light
SCREEN SPE サービス カスタム・メイド・サービス
3Dフロアマップ
その他周辺装置 排気スクラバーユニット
純水昇圧装置・薬液供給装置 帯電防止ユニット
クリーンエアシステム
純水昇圧装置・薬液供給装置 昇圧機能付き純水加温ユニット
セーフティパーティション
純水昇圧ユニットシリーズ