株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
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クリーンエアシステム
薬液サンプリング用クリーンブース
高い清浄度が求められる薬液充填作業に対応。複数の薬液ボトルに対し簡単バルブ操作。
特長
HEPAフィルター+プレフィルターで、フィルター清浄度の安定化と長期維持を実現。
防爆型ファンおよび防爆型スイッチを採用。
溶剤雰囲気に対し局所排気機能を装備。
さまざまなカスタマイズに対応。
仕様
装置寸法
600 mm(幅) × 700 mm(奥) × 1950 mm(高)
清浄度
クラス10
HEPAフィルター
305 mm × 450 mm × t66 mm
処理風量
約5m
3
/min( 350Pa)
充填ボトル数
2ボトル
正面扉
不燃性帯電防止ビニールシート、または上下開閉式透明ガラス
※写真のタイプ
製品情報
純水昇圧装置・薬液供給装置 純水昇圧ユニット
クリーンエアシステム クリーンベンチ
クリーンエアシステム 簡易クリーンブース
クリーンエアシステム クリーンブース
空調ユニット コータ・デベロッパ用空調ユニット SA-30
クリーンエアシステム イオナイザー・ユニット
省エネ・中型〜精密空調ユニット
その他周辺装置 ホットプレート/クールプレート
SEBAPROツール SEBAPRON(セバプロン)
SEBAPROツール SEBAPRO Light
SCREEN SPE サービス カスタム・メイド・サービス
3Dフロアマップ
その他周辺装置 排気スクラバーユニット
純水昇圧装置・薬液供給装置 帯電防止ユニット
クリーンエアシステム
純水昇圧装置・薬液供給装置 昇圧機能付き純水加温ユニット
セーフティパーティション
純水昇圧ユニットシリーズ