株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
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クリーンエアシステム
イオナイザー・ユニット
イオナイザーでの静電気除去で、作業効率と生産性が向上。クリーンブース天井部、作業台壁面、また、プロセス装置内などへの設置で効果を発揮。 LED照明付きなので、手元が明るくなり作業性アップ。
特長
LED照明はイエロールーム用など各種カスタマイズに対応。
仕様
筐体寸法
1,490 mm(幅) × 165 mm(奥) × 81 mm(高)
電源
AC100V 単相 50/60 Hz
製品情報
純水昇圧装置・薬液供給装置 純水昇圧ユニット
クリーンエアシステム クリーンベンチ
クリーンエアシステム 簡易クリーンブース
クリーンエアシステム クリーンブース
空調ユニット コータ・デベロッパ用空調ユニット SA-30
クリーンエアシステム イオナイザー・ユニット
省エネ・中型〜精密空調ユニット
その他周辺装置 ホットプレート/クールプレート
SEBAPROツール SEBAPRON(セバプロン)
SEBAPROツール SEBAPRO Light
SCREEN SPE サービス カスタム・メイド・サービス
3Dフロアマップ
その他周辺装置 排気スクラバーユニット
純水昇圧装置・薬液供給装置 帯電防止ユニット
クリーンエアシステム
純水昇圧装置・薬液供給装置 昇圧機能付き純水加温ユニット
セーフティパーティション
純水昇圧ユニットシリーズ