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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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開発商品

日々、お客さまと身近に接する私たちの仕事。
その中で、さまざまなニーズを敏感にキャッチし、半導体フィールドエンジニアリングで長年培ってきた経験とノウハウを生かしながら、半導体、液晶、太陽電池、電子基盤製造ラインでの付帯設備の開発・製造を手掛け、新たなオリジナル商品としてご提供しています。
私たちは、このような活動を通して、お客さまのビジネスを成功を導く、強力なパートナーであり続けます。

プロセス性能アップと生産性アップに貢献する製品ラインナップ

長年の技術サポートで培ったノウハウと技術から生まれた、信頼性の高いオリジナル周辺機器「SEBAREX」と、Professionalな技術者が専門性の高い作業を効率良く進められ、また、危険な環境の多い半導体工場での安全を確保するツール「SEBAPRO」をご用意。
お客さまの生産ラインの持つ性能を最大限に引き出し、プロセス性能アップと生産性アップに貢献します。

SEBAREXSEBAPRO
純水昇圧装置・薬液供給装置

純水昇圧ユニット

帯電防止ユニット

昇圧機能付き純水加温ユニット

純水供給圧の不足や変動を解消。 静電気によるゴミの再付着と、基板パターンの静電気破壊を防止。 昇圧機能を搭載し、さまざまな新旧工場に柔軟に対応。

スラリー薬液供給ユニット

薬液供給ユニット

廃液回収ユニット

CMPスラリーにダメージを与えない新送液システムを搭載。 操作性と安全性を追求した連続供給ユニット。 操作性と安全性を追求した連続回収ユニット。

レビトロニクスポンプシステム

レビトロニクスポンプ

LEVITRONIXベアリングレスポンプ 国内正規代理店

クリーンエアシステム

クリーンブース

簡易クリーンブース

薬液サンプリング用 クリーンブース

安価でクリーンルーム環境を構築。 未使用時は分解して収納可能な簡易組立。 クラス10のクリーン環境で確実な作業。

クリーンベンチ

イオナイザー・ユニット

手軽にクリーンな作業スペースを確保。

プロセス装置内や作業エリアの静電気を除去。

空調ユニット

コータ・デベロッパ用空調ユニット SA-30

小型 精密温湿度空調ユニット SA‐05/SA‐15

移動式精密温湿度空調ユニット DD‐05/DD‐15

フロン類全廃への準備、万全ですか? 超小型で高性能なので使い方はいろいろ。装置への組み込みにも最適。 これまでの概念を変える移動式装置、”どこでも”精密温湿空調!

省エネ・中型〜精密空調ユニット

ランニングコストを最大80%削減。大風量が求められるエリアの温度・湿度を高精度に管理。    

   
石英管の保管・洗浄装置

ドラフトチャンバー

石英管保管庫

石英管洗浄装置

半導体をはじめ各種製造プロセスをサポート。

効率的な収納レイアウトで、入出庫の作業性をアップ。

回転洗浄により石英炉心管を均一に洗浄。

その他周辺装置

排気スクラバーユニット

ミスト回収ユニット

バクテリアOFFユニット

製造装置単位で設置が可能な省スペース設計。

排気ミストで、排気ダクトや排ガス処理装置のメンテナンスに苦労していませんか?

循環水槽のバクテリア・有機物をクリーンアップ。

目視検査支援ユニット

ホットプレート/クールプレート

配管ステップ

カセットからウェーハの抜き取りを自動化し、作業ミスをゼロに。

卓上型でありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

作業効率と安全性にこだわった設計で、設置環境にジャストフィット。

スライムOFFユニット

雑菌OFF-GRN(グリーン)ユニット

 
クーリングタワーの藻と菌の発生対策でランニングコストを大幅に削減 野菜水耕栽培の除菌対策・殺菌で農薬不要の簡単・安全管理を  

 
SEBAPROツール

SEBAPRON(耐薬エプロン セバプロン)

保護具パック(耐薬エプロンセット)

SEBAPRO Cone(コーン型 危険警告センサー)

薬液飛散のリスクのある作業も耐薬エプロンが安全を確保。

SEBAPRONと、薬液作業に必要となる防災面、手袋、オーバーシューズ、腕カバーをセットにしてご用意。

半導体工場での“開口部滑落”の事故防止をサポート。

SEBAPRO ECHO(ハンディー型 危険警告センサー)

SEBAPRO EMO(誤操作防止EMOスイッチ)

SEBAPRO Light(フォトリソ用イエローライト)

半導体工場での“危険箇所接触”の事故防止をサポート。

半導体工場でのEMO誤操作を未然に防止。

フォトリソ用ライト。

SEBAPRO Air Stream(HEPAクリーンパーテーション)

空間清流で感染対策/塵埃対策。パーティション型プッシュッ・プル空間換気。

 

中古部品販売

中古部品の販売も行っております。 詳しい情報については、担当営業までお問い合わせください。

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