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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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開発商品

日々、お客さまと身近に接する私たちの仕事。 その中で、さまざまなニーズを敏感にキャッチし、半導体フィールドエンジニアリングで長年培ってきた経験とノウハウを生かしながら、半導体、液晶、太陽電池、電子基盤製造ラインでの付帯設備の開発・製造を手掛け、新たなオリジナル商品としてご提供しています。 私たちは、このような活動を通して、お客さまのビジネスを成功を導く、強力なパートナーであり続けます。

純水昇圧装置・薬液供給装置

純水昇圧ユニット

帯電防止ユニット

薬液供給ユニット

純水供給圧の不足や変動を解消。 静電気によるゴミの再付着と、基板パターンの静電気破壊を防止。 操作性と安全性を追求した連続供給ユニット。

スラリー薬液供給ユニット

排気処理装置(スクラバー)

廃液回収ユニット

CMPスラリーにダメージを与えない新送液システムを搭載。 製造装置単位で設置が可能な省スペース設計。 操作性と安全性を追求した連続回収ユニット。

レビトロニクスポンプシステム

レビトロニクスポンプ

LEVITRONIXベアリングレスポンプ 国内正規代理店

クリーンエアシステム

クリーンブース

簡易クリーンブース

薬液サンプリング用 クリーンブース

安価でクリーンルーム環境を構築。 未使用時は分解して収納可能な簡易組立。 クラス10のクリーン環境で確実な作業。

クリーンベンチ

イオナイザー・ユニット

手軽にクリーンな作業スペースを確保。

プロセス装置内や作業エリアの静電気を除去。

空調ユニット

コータ・デベロッパ用 空調ユニット

省エネ・大容量空調ユニット

フロン類全廃への準備、万全ですか? ランニングコストを最大80%削減。大風量が求められるエリアの温度・湿度を高精度に管理。

石英管の保管・洗浄装置

ドラフトチャンバー

石英管保管庫

石英管洗浄装置

半導体をはじめ各種製造プロセスをサポート。

効率的な収納レイアウトで、入出庫の作業性をアップ。

回転洗浄により石英炉心管を均一に洗浄。

小型フォトリソ装置

ELSスピンコータ

ELSスピンデベロッパ

ホットプレート/クールプレート

簡単操作で、優れた面内均一性を確保。いつでも塗布レシピを呼び出し、ウエハー内を均一に塗布します。 ひとつのレシピ操作で、一連の現像・水洗・乾燥プロセスに対応するセミオート機構。コンパクトな装置でありながら、充実した機能で、さまざまな処理が可能。 卓上型でありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

その他周辺装置

目視検査支援ツール

ミスト回収装置

配管ステップ

カセットからウェーハの抜き取りを自動化し、作業ミスをゼロに。

排気ミストで、排気ダクトや排ガス処理装置のメンテナンスに苦労していませんか?

作業効率と安全性にこだわった設計で、設置環境にジャストフィット。

SEBAPROツール

SEBAPRO Light (セバプロライト)

SEBAPRON(セバプロン)

保護具パック

フォトリソ用ライト。

薬液飛散のリスクのある作業も耐薬エプロンが安全を確保。

SEBAPRONと、薬液作業に必要となる防災面、手袋、オーバーシューズ、腕カバーをセットにしてご用意。

中古部品販売

中古部品の販売も行っております。 詳しい情報については、担当営業までお問い合わせください。

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