SCREEN

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

クリーンエアシステム クリーンベンチ

クリーンエアシステム

クリーンベンチ

作業台エリアを集中的に、クラス100の清浄度を確保。

特長
  • 清浄空気が正面から後方へ流れる水平流形と、天井側から下方向に流れる垂直気流の2種類を準備。
仕様
幅寸法 1,300 mm
装置寸法 1,300 mm(幅) × 1,100 mm(奥) × 約1,860 mm(高)
清浄度 クラス100
吹出風速 0.5 m/s
処理風量 20 m3/min
集塵効率 0.3 μm粒子にて99.97%以上
HEPAフィルター 610 mm × 610 mm × t 68 × 2(枚)
照明灯 40 W × 4
電源 AC100V 50/60 Hz
消費電力 S70/700 W

※写真のタイプ

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