SCREEN

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

クリーンエアシステム

クリーンエアシステム

薬液サンプリング用クリーンブース

高い清浄度が求められる薬液充填作業に対応。複数の薬液ボトルに対し簡単バルブ操作。

特長
  • HEPAフィルター+プレフィルターで、フィルター清浄度の安定化と長期化を対応。
  • 防爆型ファンおよび、防爆型スイッチを採用。
  • 溶剤雰囲気に対し局所排気機能を装備。
  • さまざまなカスタマイズに対応。
仕様
装置寸法 600 mm(幅) × 700 mm(奥) × 1950 mm(高)
清浄度 クラス10
HEPAフィルター 305 mm × 450 mm × t66 mm
処理風量 約5m3/min( 350Pa)
充填ボトル数 2ボトル
正面扉 不燃性帯電防止ビニールシート、または上下開閉式透明ガラス

※写真のタイプ

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