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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

SEBAPROツール SEBAPRO Light

SEBAPROツール

フォトリソ用イエローライト(SEBAPRO Light)

光源に高輝度LEDを採用し、
作業性を大幅に改善。

光源にレジスト感光波長域を持たない国産の高輝度LEDを採用。メンテナンスエンジニア、プロセスエンジニアの方に、安心してご使用いただけます。高効率な駆動回路設計で、白色LEDと同等レベルの消費電力を実現。ズーム機構を採用し、調整リングの操作で、投光エリアをワイドからスリムまで自由に調整可能。

特長
  • 高輝度で高効率の駆動回路を採用。白色LEDと同等レベルの省電力を実現。
  • 使用環境を考慮したポリエチレン素材。 本体は、強度のある軽量なアルミで構成。
  • フィット感と携帯性を両立したデザイン。確実な保持のためストラップを付属。
フォトリソ・メンテナンス用ライト(SEBAPRO Light4

先端露光機やコータデベロッパー装置など、フォトリソ環境での作業に最適な高輝度イエローライト。白色光での感光リスクを完全に解消し、作業性を飛躍的に向上します。

塗布ムラ確認用ライト(SEBAPRO Light4 Surface)

塗布ムラを、その場で簡単に確認できる手持ちライト。現場でのよりスピーディな判断を可能にし、プロセス評価や装置条件出しでの作業を大幅に改善します。

発光スペクトル

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