SCREEN

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

純水昇圧装置・薬液供給装置 帯電防止ユニット

  • HOME
  • » 製品情報
  • » 純水昇圧装置・薬液供給装置 帯電防止ユニット

純水昇圧装置・薬液供給装置

帯電防止ユニット

高性能な中空糸膜を介して炭酸ガスをDIW内へ給気。
超純水の比抵抗値をコントロール。

DIWのイオン化で導電性が付与され静電気を除去。複雑な機構を持たない「独自の配管分配方式」により、故障に強く、また、安定した炭酸ガス飽和水と超純水の混合を実現。

特長
  • CMP、洗浄、スクラバー、ダイシング各工程のリンス・洗浄プロセスなど幅広い用途に適応。
  • 微細な中空糸膜の束を採用し、効率の良い炭酸ガス溶解を実現。
  • 優れた配管分配方式により、比抵抗値の制御が容易で安定。
  • 複雑な構造を持たない故障リスク低減設計。
  • 「純水昇圧ユニット」との一体型モデルも用意。
仕様
装置寸法 600 mm(幅) × 360 mm(奥) × 1,190mm(高)
比抵抗設定範囲 0.10 ~ 1.0( MΩ・cm)※1
一定流量時の安定性 ±15% 以内
処理水流量範囲 1~50( L/min)※1

※1 範囲の異なる装置モデルを用意しています。また、この範囲を超える場合は、お問い合わせください。

お問い合わせ

メールでのお問い合わせ