＜帯電防止機能付き＞純水昇圧ユニット

CMP、洗浄、スクラバー、
ダイシング各工程のリンス・洗浄プロセスなど幅広い用途に適応。

コンパクトなボディーでフットプリントを大幅に改善。これまでの2ユニット運用で必要だった接続施工がなく、プロセス性能の安定化に加え、導入コスト削減にもお役立ていただけます。

特長

• 昇圧機能を搭載。1次側の圧力変動に影響されず、安定した純水供給が可能。
• 微細な中空糸膜の束を採用し、効率の良い炭酸ガス溶解を実現。
• 優れた配管分配方式により、比抵抗値の制御が容易で安定。
• 複雑な構造を持たない故障リスク低減設計。

仕様

※1 範囲の異なる装置モデルを用意しています。また、この範囲を超える場合は、お問い合わせください。